Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
Finna-arvio
Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
Tallennettuna:
Genre | |
---|---|
Ulkoasu |
1 PDF (xix, 463 pages) : illustrations Also available in print |
Kieli |
englanti |
Alkuteoksen kieli |
englanti |
Julkaisija |
[Piscataway, New Jersey] :
IEEE,
c2006.
|
Aiheet | |
Lisätiedot | Gary S. May, Costas J. Spanos |
Painettu |
9780471784067 |
Bibliografia |
Includes bibliographical references and index. |
ISBN |
9780471790280 ebook cloth : alkaline paper cloth : print electronic |
DOI | 10.1002/0471790281 |
Pääsy | Luettavissa Jyväskylän yliopiston verkossa; Access limited to Jyväskylä University network |
Huomautukset |
IEEE |
Standarditunnukset |
doi 10.1002/0471790281 |
Julkaisijan tunnus |
IEEE 5201952 IEEE ocm70162615 |
Hae kokoteksti |