Haku

Tietueen sitaatit

APA-viite

Bao, Y., Laitinen, M., Sajavaara, T., Savin, H., laitos, F., Physics, D. o., . . . Laboratory, A. (2017). Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Al2O3 from Dimethylaluminum Chloride and Its Impact on Silicon Surface Passivation. Wiley.

Chicago-tyylinen lähdeviittaus

Bao, Yameng, Mikko Laitinen, Timo Sajavaara, Hele Savin, Fysiikan laitos, Department of Physics, Kiihdytinlaboratorio, ja Accelerator Laboratory. Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Al2O3 from Dimethylaluminum Chloride and Its Impact on Silicon Surface Passivation. Wiley, 2017.

MLA-viite

Bao, Yameng, et al. Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Al2O3 from Dimethylaluminum Chloride and Its Impact on Silicon Surface Passivation. Wiley, 2017.

Harvard-tyylinen lähdeviittaus

Bao, Y., Laitinen, M., Sajavaara, T., Savin, H., laitos, F., Physics, D. o., . . . Laboratory, A. 2017. Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Al2O3 from Dimethylaluminum Chloride and Its Impact on Silicon Surface Passivation. Wiley.

Muista tarkistaa viitteiden oikeellisuus, ennen kuin käytät niitä tekstissäsi.