Fabrication of SOI micromechanical devices
Fabrication of SOI micromechanical devices
Tallennettuna:
| Ulkoasu |
87, [35] sivua : kuvitettu ; 25 cm Myös verkkoaineistona (ISBN 951-38-6436-7 (PDF)) |
|---|---|
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Julkaisija |
Espoo :
Technical Research Centre of Finland,
2005
|
| Opinnäyte | Väitöskirja Espoo : Teknillinen korkeakoulu |
| Sarja | VTT publications, ISSN 1235-0621; 559. |
| Luokitus | |
| Aiheet | |
| Valmistaja | (Otamedia) |
| Lisätiedot | Jyrki Kiihamäki |
| ISBN |
951-38-6435-9 nidottu |
| Hae kokoteksti | |